Характеристики:

1) Швидкість азотування вища, цикл азотування можна відповідно скоротити, а час іонного азотування можна скоротити до 1/3-2/3 часу газового азотування.

2) Крихкість азотованого шару невелика, а білий шар, що утворюється на поверхні внаслідок плазмового азотування, дуже тонкий або взагалі відсутній. Крім того, деформація, спричинена азотованим шаром, невелика, що особливо підходить для прецизійних деталей складної форми.

3) Можна заощадити енергію та аміак. Споживання електроенергії становить 1/2-1/5 від газового азотування, а споживання аміаку — 1/5-1/20 від газового азотування.

4) Локальне азотування легко здійснити, якщо частина, яка не потребує азотування, не утворює світіння, а частину, що не потребує азотування, легко захистити, а світіння можна захистити механічним екрануванням та залізною пластиною.

5) Іонне бомбардування може очистити поверхню та автоматично видалити пасиваційну плівку. Нержавіючу сталь та жароміцну сталь можна азотувати безпосередньо без попереднього видалення пасиваційної плівки.

6) Структуру складного шару, товщину та структуру інфільтраційного шару можна контролювати.

7) Діапазон температур обробки широкий, і певну товщину азотувального шару можна отримати навіть нижче 350°C.

8) Покращено умови праці. Безбрудну плазмову азотування проводять під дуже низьким тиском з дуже малою кількістю вихлопних газів. Джерелом газу є азот, водень та аміак, і практично не утворюється жодних шкідливих речовин.

9) Його можна застосовувати до всіх видів матеріалів, включаючи нержавіючу сталь, жароміцну сталь з високою температурою азотування, інструментальну сталь та прецизійні деталі з низькою температурою азотування, тоді як низькотемпературне азотування є досить складним для газового азотування.