Вакуумна цементація полягає в нагріванні заготовки у вакуумі.Коли він досягає температури вище критичної точки, він залишатиметься протягом певного періоду часу, дегазуватиме та видалятиме оксидну плівку, а потім передаватиме очищений газ для науглерожування для науглерожування та дифузії.Температура цементації вакуумної цементації висока, до 1030 ℃, а швидкість цементації висока.Поверхнева активність науглерожених деталей покращується шляхом дегазації та розкислення.Подальша швидкість дифузії занадто висока.Цементація та дифузія проводяться багаторазово та по черзі до досягнення необхідної поверхневої концентрації та глибини.
Можна контролювати глибину вакуумного цементування та поверхневу концентрацію;Він може змінити металургійні властивості поверхневого шару металевих деталей, а його ефективна глибина науглерожування є більшою, ніж фактична глибина науглерожування інших методів.